SM230_自動光學薄膜厚度掃描測繪儀
發布時間：2022/08/09 點擊量：
綜合概述
SM230是一款利用利用薄膜反射光干涉原理研制而成的自動薄膜厚度測繪儀。 它利用波長范圍最寬為200-1700nm的光垂直入射到薄膜表面，只要薄膜有一定程度的透射，SM230就能根據反射回來的干涉光譜擬合計算出薄膜的厚度，以及其他光學常數如反射率、折射率和消光系數等，其厚度最大測繪范圍可以達到5nm~250um。
SM230自動光學薄膜厚度測繪儀由測繪主機、測繪平臺、Y型光纖及上位機軟件搭建而成，核心器件采用高分辨率、高靈敏度光譜儀和高精度的旋轉平臺，結合奧譜天成獨有的算法技術，為用戶提供的全新一代領先的自動光學薄膜厚度測繪儀。
產品特征
l 非接觸式、非破壞性的測試系統；
l 超長壽命光源，更高的發光效率；
l 高分辨率、高靈敏度光譜儀，測繪結果更準確可靠；
l 軟件界面直觀，操作方便省時；
l 測繪速度快，支持多點測繪點位地圖繪制；
l 支持繪制樣品2D/3D厚度分布圖；
l 高精度、長壽命的3軸旋轉平臺；
l 歷史數據存儲，幫助用戶更好掌握結果；
l 桌面式分布設計，適用場景豐富；
l 維護成本低，保養方便；
應用領域
基本上所有光滑的、半透明的或低吸收系數的薄膜都可以測繪，這幾乎包含了所有的電介質和半導體材料，包括：
氧化硅、氮化層、類鉆薄膜、多晶硅、光刻膠、高分子、聚亞酰胺、非晶硅等。
l 半導體鍍膜：光刻膠、氧化物、淡化層、絕緣體上硅、晶片背面研磨;
l 液晶顯示：間隙厚度、聚酰亞胺、ITO透明導電膜;
l 光學鍍膜：硬涂層、抗反射層；
l 微電子系統：光刻膠、硅系膜狀物、印刷電路板；
l 生物醫學：醫療設備、Parylene
